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CSE系列團簇中心轉運平臺
更新時間:2018-09-13 12:46:52 字號:T|T


CSE系列團簇中心轉運平臺
 
1、產品用途
提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺,用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運,以便客戶進行二次開發。
2、技術參數

基片尺寸 可選:4”、6”、8"、12"
工位數 可選:4工位、6工位、8工位
真空機械手 選配
工藝反應腔體 可選:Sputtering/PECVD/Etch/Evaporation/Plasma Clean/Annealing
腔體材料 鋁/不銹鋼
控制軟件 定制選配

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