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超高真空排氣系統
更新時間:2018-09-12 20:04:06 字號:T|T

超高真空排氣系統

 
        用于器件真空排氣,可實現遠程控制,長時間工作可無人值守,可配置產品加熱除氣爐,一體式制造,根據客戶要求定制設備。

極限真空度 6×10-8Pa
加熱溫度 200℃
分區數量 4分區
漏率 1×10-12Pa.m3/s

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