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超高靈敏度氦質譜檢漏儀
更新時間:2018-09-12 19:50:44 字號:T|T

 
超高靈敏度氦質譜檢漏儀
 
        采用相對法和累積法,可檢漏率3×10-15Pa·m3/s ,可有效滿足真空壽命及******性要求較高的真空電子器件測試要求。

極限真空度 ≤3×10-9mbar
漏率檢測范圍 10-8~3×10-15Pa·m3/s
工作響應時間: ≤2s

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