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真空折疊式機械手
更新時間:2019-11-19 14:30:35 字號:T|T
產品參數:2自由度(X θ)(適用于團簇式系統)3自由度(X Z θ)?(適用于團簇式系統)適用基片4 6 8 12基片固定結構材料及表
產品參數:
2自由度(X/θ) (適用于團簇式系統)
3自由度(X/Z/θ)? (適用于團簇式系統)
適用基片 4”/6”/8” /12”
基片固定結構 材料及表面處理可定制
載重量(KG) 0.5
X主行程(mm) 500/600
重復精度(mm) ±0.1
真空度 ******10-6Pa
接口 Modbus tcp/ip、485(Modbus RTU)、IO
其他 配合特殊基片固定結構,可滿足高溫下使用

備注:
1.自由度符號X代表伸縮,Z代表升降,θ代表旋轉;
2.帶有安全碰撞保護功能,減少損失;
3.以上型號產品,均配有同等規格的大氣機械手。


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