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真空直線式機械手
更新時間:2019-11-19 14:35:28 字號:T|T
產品參數:1自由度(X)(適用于單工藝系統)2自由度(X Z)(適用于單工藝系統)2自由度(X θ)(適用于團簇式系統)3自由度(X Z &
產品參數:
1自由度(X) (適用于單工藝系統)
2自由度(X/Z) (適用于單工藝系統)
2自由度(X/θ) (適用于團簇式系統)
3自由度(X/Z/θ)? (適用于團簇式系統)
適用基片 4”/6”/8” /12”
基片固定結構 材料及表面處理可定制
載重量(KG) 1
X主行程(mm) 400/500
重復精度(mm) ±0.1
真空度 ******10-6Pa
接口 Modbus tcp/ip、485(Modbus RTU)、IO
其他 配合特殊基片固定結構,可滿足高溫下使用
備注:  
1.自由度符號X代表伸縮,Z代表升降,θ代表旋轉;
2.機械手選型與其工作環境直接相關,祥請電話咨詢;
3.以上型號產品,均配有同等規格的大氣機械手。
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